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mems是什么意思

新品看点 时间:2024-09-08 17:02:29

mems是什么意思 

MEMS是微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)的缩写,它是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术。MEMS的操作范围在微米范围内,涉及电子、机械、材料、物理学、化学等多种学科与技术。与传统的传感器相比,MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。

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